Νανο-υμένια ανοδικής αλουμίνας στη Μικροηλεκτρονική

Η ανοδική αλουμίνα είναι ένα υλικό με μεγάλο ενδιαφέρον στην κατασκευή διατάξεων Μικροηλεκτρονικής. Παρασκευάζεται με ηλεκτροχημική οξείδωση αλουμινίου, που είναι απλή και χαμηλού κόστους διεργασία. Ανάλογα με τις συνθήκες παρασκευής παρουσιάζει διαφορετικά μορφολογικά χαρακτηριστικά (συμπαγής ή πορώδης), το δε πάχος της μπορεί να κυμαίνεται από μερικά νανόμετρα μέχρι μικρόμετρα. Ως υλικό, έχει ενδιαφέρουσες διηλεκτρικές ιδιότητες. Η πορώδης αλουμίνα παρουσιάζει κάθετους πόρους, αυτο-οργανούμενους σε εξαγωνική συμμετρία. Στην νανο-τεχνολογία η πορώδης αλουμίνα χρησιμοποιείται ως μήτρα για την κατασκευή νανονημάτων, καθώς και ως υλικό μάσκας για την εγχάραξη του πυριτίου, λόγω της αυτο-οργάνωσης και της περιοδικής δομής των πόρων. Η συμπαγής αλουμίνα χρησιμοποιείται σε διάφορες μικροηλεκτρονικές διατάξεις λόγω της υψηλής διηλεκτρικής της σταθεράς. Στο εργαστήριό μας (ομάδα Nano4NPS: http://nano4nps.imel.demokritos.gr/) πετυχαίνουμε την παρασκευή ανοδικής αλουμίνας υψηλής ποιότητας. Στην περίπτωση της πορώδους αλουμίνας, πετυχαίνουμε μεγάλη περιοδικότητα στην κατανομή των πόρων, που χρησιμοποιούμε για εφαρμογές εγχάραξης του πυριτίου στη νανο-κλίμακα. Χρησιμοποιούμε επίσης αυτό το υλικό για την κατασκευή ηλεκτρονικών διατάξεων, όπως μνημών και πυκνωτών υψηλής απόδοσης, συμβατών με την τεχνολογία πυριτίου. Στην ομιλία αυτή θα παρουσιαστούν μια σειρά από αποτελέσματα και εφαρμογές που βασίζονται στην ανοδική αλουμίνα.